喷射真空泵是利用流体传递能量和质量，本身没有运动部件，它是由喷咀、吸入室、扩压管三部分组成。具有一定压力的工作流体通过喷咀高速喷出，通过能量转换，在喷咀出口形成真空，从而将被抽介质吸引出来，二股介质在扩压管内进行混合及能量交换，最后以略高于大气压而排出。由于用水为工作介质受饱和蒸汽压力的限制，一级水喷射泵极限真空度较低，一般在-0.098MPa（真空绝压3066Pa)左右，如需更高的真空度，必须串联一级二级或***蒸汽喷射真空泵，使得真空绝压可达200pa,100Pa,60Pa。如果串联一台或二台罗茨真空泵真空绝压可达150Pa和30Pa。